シリコン リサイクル

シリコン切削くずのリサイクル技術

環境問題から急速に普及が進んでいる太陽電池用シリコンウエハを切り出す際に多量に発生する切削屑は、シリコンのみでなく水、切削剤としての炭化珪素（SiC）の微粒子等の混合物を多く含んでおり、これらを分離することが困難であるため廃棄処分されていました。
本開発はＫＳ炉の精錬技術とアーク放電技術を応用して、この切削屑をインゴットとして再資源化する技術を開発しコスト低減と循環・低炭素型社会の実現に貢献しようとしたものであり、インゴットの再生までは進みました。その後の市場環境の変化により開発は中断しています。